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電子潔凈廠房設(shè)計(jì)

半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)施工的5大特點(diǎn)及關(guān)鍵難點(diǎn)
2021-11-18

這個(gè)表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級(jí)要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好，這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì)，或者對(duì)生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。
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